➢ ±60°大角度特性,非光洁表面±88° ➢ 量程1.7mm或3.5m ➢ 大曲度3D玻璃、胶水等适合 业务咨 […]
➢ ±60°大角度特性,非光洁表面±88°
➢ 量程1.7mm或3.5m
➢ 大曲度3D玻璃、胶水等适合
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机器型号 | X、Y轴行程 | Z轴工作距离 | Z轴测量范围 | 光点直径 | Z轴分辨率 | 横向分辨率 | 最大线性误差 | 最小可测厚度 | 最大角度 |
GLT-82R59D1.7 | 500 | 12.1 | 1.7mm | 5.8um | 3.2nm | 2.9um | ±0.42um | 56um | ±59° |
GLT-82R60D3.5 | 1000 | 13 | 3.5mm | 5.8um | 6.4nm | 2.9um | ±0.88um | 116um | ±60° |